半導體廠潔淨工程 電子廠無塵車間裝修施工諮詢上海順外

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在半導體淨化車間裝修時,要求時根據行業不同,車間操作不同來劃分等級來裝修的。其中在半導體集成電路生產的光刻工序中,硅片露出在生產環境中,污染概率很高時元器件的廢品率也會很高,所以爲避免出現這種傷害,現階段在超大規模半導體集成電路的潔淨廠房中一般選用微環境,把加工工藝核心區隔離,在微環境的隔離區內做到所規定的空氣潔淨度等級和環境控制規定(M度、相對溼度、壓力)。工作區域是由人和/或自動處理設備對晶片開展加工的區域,爲保障作業區域內產品免被污染,一般選用單向流或微環境把人和露出的產品隔離。
一、基本要求
1、承擔潔淨廠房裝修施工企業,應具有相應工程施工資質及其等級,並應具有完善的質量管理體系。?上海順外淨化科技有限公司施工資質齊全,所有項目均可透過第三方檢測。
2、潔淨車間的施工應按設計檔案、合約的內容實施。當修改設計時,應經原設計單位的確認、簽證,並得到建設單位的同意。
3、潔淨車間施工前應根據具體工程項目的特點,制訂施工方案和程序,做到各工種協調施工、階段明確、交接清楚,確保整體施工質量和安全操作。
4、施工企業承擔對潔淨車間工程內各專業設計圖紙進行深化的施工詳圖設計時,應執行現行標準《潔淨車間設計規範》GB50073的相關規定,並應加強設計質量管理,具有質量管理體系,施工詳圖應得到原設計單位的書面同意或確認,並得到建設單位的同意後,方能進行施工。
5、潔淨車間工程竣工驗收的系統調試,應在建設單位和監理單位的共同參與下進行,由施工企業負責進行系統調試、檢測,承擔調試的單位應具有調試、檢測專職技術人員和符合本規範規定的測試儀器。
二、半導體淨化車間設計
設計範圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調設備、風管、水管等),特氣供應方案(特氣櫃含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理),電氣方案(空調設備動力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。

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